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使用不止一組切割切割線是在保持速度的前提下提高機臺產(chǎn)量的一個創(chuàng)新方法。應用材料公司最新的maxedge系統(tǒng)采用了獨特的兩組獨立控制的切割組件。maxedge是業(yè)界第一個專門設計使用細切割線的線鋸系統(tǒng)，最低可達到80μm。相對于業(yè)界領先的應用材料公司hct b5線鋸系統(tǒng)8寸整張藍膜晶圓回收，這些改進減少了硅料損失使產(chǎn)量提高多達50%。
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沉積第二層金屬，并刻蝕出連線結構。然后，用 pecvd 法氧化層和氮化硅保護層。光刻和離子刻蝕定出 pad位置。最后進行退火處理以保證整個 chip 的完整和連線的連接性。wafer probe晶圓針測工序waferballingprocess晶圓球狀化工藝
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