產品信息 ox400可用于控制和監視各種半導體應用,并控制環境,空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。
用于半導體擴散爐和烘干爐,以及lcd制造工藝中的氧氣濃度控制,用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度,以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量,測量氧氣濃度。
主要技術參數：
測量對象
惰性氣體中的氧氣濃度
(易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)
測量系統
氧化鋯系統
采樣方法
泵式、抽提式等
樣氣條件
流速：200±25ml/min(僅適用于傳感器)
溫度：0～50℃(無結露)
濕度：無結露
壓力：0～300pag
最大容許壓力：30kpag
測量量程
0～10ppm o2至0～100vol% o2
輸出量程
自動：
0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默認)
固定：
設為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%
部分：
可設置下限值或上限值
模擬輸出
2路輸出，第一路：4～20madc(最大負載電阻550ω)，第二路：可選為0～1，0～5，0～10v dc(負載電阻：10kω或更大)
接點輸出
報警輸出2點：
錯誤接點，o2濃度報警接點
指定量程范圍輸出1點：
接點輸出
多選擇器(選配件)：
流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出
接點輸入
1點：采樣氣體吸入泵的遠程on/off
自診斷
故障：
傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設備溫度錯誤，cpu錯誤，fan停止
報警：
加熱器不穩定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標定錯誤，傳感器電阻錯誤，o2濃度上/下限，超限
串口通信
rs-232，38400 bps
標定方法
(1)3點：10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點：可設定為零點氣和量程氣標定，(3)1點，(4)空氣標定
暖機時間
20分以內
電源
100～120v ac/220～240v ac，50/60hz
功耗
100～120v ac，200va 最大，220～240v ac，400 va 最大
尺寸
213 (w) x 132 (h) x 約375 (d) mm
質量
約5kg
管線連接
氣體入口：rc1/4或1/4npt內螺紋
氣體出口：rc1/4或1/4npt內螺紋
環境條件
安裝條件：
室內，盤裝或壁裝，非易燃區域
環境溫度：
0～40℃，無結露
環境濕度：
5～85%rh
儲存溫度：
-5～50℃
重復性
±1%f.s.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)
線性
±2%f.s.
±3%f.s.(0～100ppm或更低)
響應時間
90%響應
10秒內(0～1%或更高)
30秒內(小于0～1%)

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上海暉盈實業有限公司
徐智
13917428890
上海市漕寶路3158弄1號1304室

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