??????采用海克斯康集團的核心技術；先進的全鋁技術，極佳的剛性/質量比，保證高性能和高精度；x向橫梁采用超高精密三角梁（tricision）技術，相比矩形橫梁，重心更低，質量剛性比最佳，運動更加可靠，該領先技術受到專利保護；y軸采用整體燕尾式導軌，在降低機器重量的同時，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度和穩(wěn)定性；z向采取獲得專利的氣動平衡技術，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測量機的精度和長期穩(wěn)定性；三軸均采用德國heidenhain光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達0.078μm，同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮；各運動軸均采用直流伺服驅動+增強型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和準確定位；采用海克斯康為croma專業(yè)打造的idc-1控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術和自動調諧功能，保證了機器的動態(tài)性能和測量精度；

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廣州特斯克儀器科技有限公司
黃遠揚
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廣州天河

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