電子工業用超純水概述半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。制備電子工業用超純水的工藝流程電子行業制備超水的工藝大致分成以下幾種:1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→砂碳過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→砂碳過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點3、采用反滲透水處理設備與電去離子(edi)設備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子(edi)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點三種制備電子工業用超純水的工藝比較目前制備電子工業用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來?，F將他們的優缺點分別列于下面: 1、第一種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞。2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。

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